با رشد فناوری، استفاده از قطعات گرانیتی در تجهیزات نیمه‌هادی بیش از پیش رواج یافته است. گرانیت به دلیل مزایای فراوانش، انتخابی محبوب برای استفاده در فناوری پردازش تجهیزات نیمه‌هادی است. گرانیت یکی از سخت‌ترین و بادوام‌ترین مواد موجود است که آن را برای استفاده در صنعت تولید نیمه‌هادی ایده‌آل می‌کند. این ماده یک رسانای حرارتی عالی است و ضریب انبساط حرارتی بسیار پایینی دارد که آن را برای استفاده در کاربردهای دمای بالا ایده‌آل می‌کند.
فناوری پردازش قطعات گرانیتی در تجهیزات نیمه‌هادی شامل طیف وسیعی از تکنیک‌ها و فرآیندها است. مراحل اساسی عبارتند از صیقل دادن، حکاکی و تمیز کردن سطح گرانیت. نوع فناوری پردازش مورد استفاده به کاربرد و نوع گرانیت مورد استفاده بستگی دارد.
پرداخت‌کاری جنبه‌ی حیاتی پردازش قطعات گرانیتی در تجهیزات نیمه‌هادی است. پرداخت سطح گرانیت تا درجه‌ی بالایی از صافی، به اطمینان از عدم آسیب‌دیدگی ویفر در حین پردازش کمک می‌کند. این امر احتمال آلودگی توسط ذرات یا خراش روی سطح ویفر را کاهش می‌دهد. پرداخت‌کاری را می‌توان از طریق روش‌های مختلفی مانند پرداخت‌کاری مکانیکی، پرداخت‌کاری شیمیایی و پرداخت‌کاری الکتروشیمیایی و موارد دیگر انجام داد.
اچینگ یکی دیگر از جنبه‌های اساسی پردازش قطعات گرانیتی در تجهیزات نیمه‌هادی است. از اچینگ برای ایجاد الگوهای مورد نظر روی سطح قطعه گرانیتی استفاده می‌شود. این الگوها در ساخت و پردازش ویفرهای نیمه‌هادی استفاده می‌شوند. روش‌های مختلفی برای انجام اچینگ وجود دارد، از جمله اچینگ پلاسما، اچینگ شیمیایی مرطوب و اچینگ شیمیایی خشک و موارد دیگر. نوع فرآیند اچینگ مورد استفاده به ماده و الگوی مورد نظر بستگی دارد.
تمیز کردن سطح گرانیت نیز بسیار مهم است. فرآیند تمیز کردن برای از بین بردن هرگونه آلودگی از سطح، مانند ذرات و سایر ناخالصی‌هایی که ممکن است در فرآیند تولید نیمه‌هادی اختلال ایجاد کنند، ضروری است. تمیز کردن را می‌توان با استفاده از روش‌های مختلفی مانند تمیز کردن اولتراسونیک، تمیز کردن شیمیایی یا تمیز کردن پلاسما و موارد دیگر انجام داد.
در نتیجه، فناوری پردازش قطعات گرانیتی در تجهیزات نیمه‌هادی نقش حیاتی در فرآیند تولید نیمه‌هادی ایفا می‌کند. استفاده از قطعات گرانیتی به بهبود کیفیت و قابلیت اطمینان محصول نهایی کمک می‌کند. فناوری پردازش شامل صیقل دادن، حکاکی و تمیز کردن سطح گرانیت است. روش‌های مختلفی برای هر مرحله وجود دارد و نوع فناوری پردازش مورد استفاده به ماده و الگوی مورد نظر بستگی دارد. با استفاده از فناوری پردازش مناسب، فرآیند تولید نیمه‌هادی می‌تواند کارآمدتر، قابل اعتمادتر و مقرون به صرفه‌تر شود.
زمان ارسال: ۱۹ مارس ۲۰۲۴