با رشد فناوری ، استفاده از قطعات گرانیتی در تجهیزات نیمه هادی محبوب تر و محبوب تر شده است. گرانیت به دلیل فواید فراوان ، یک انتخاب محبوب برای استفاده در فناوری پردازش تجهیزات نیمه هادی است. گرانیت یکی از سخت ترین و بادوام ترین مواد موجود است که آن را برای استفاده در صنعت تولید نیمه هادی ایده آل می کند. این یک هادی حرارتی عالی است و ضریب بسیار کمی از انبساط حرارتی دارد که باعث می شود برای استفاده در کاربردهای درجه حرارت بالا مناسب باشد.
فناوری پردازش قطعات گرانیتی در تجهیزات نیمه هادی شامل طیف وسیعی از تکنیک ها و فرآیندها است. مراحل اساسی صیقل دادن ، اچ کردن و تمیز کردن سطح گرانیت است. نوع فناوری پردازش مورد استفاده به کاربرد و نوع گرانیت مورد استفاده بستگی دارد.
پولیش یک جنبه مهم برای پردازش قطعات گرانیتی در تجهیزات نیمه هادی است. صیقل دادن سطح گرانیت به درجه بالایی از صافی کمک می کند تا اطمینان حاصل شود که ویفر در طول پردازش آسیب نبیند. این احتمال آلودگی توسط ذرات یا خراش های روی سطح ویفر را کاهش می دهد. پولیش را می توان از طریق روشهای مختلفی مانند پولیش مکانیکی ، جلا دادن شیمیایی و پولیش الکتروشیمیایی از جمله دیگر حاصل کرد.
Etching یکی دیگر از جنبه های اساسی پردازش قطعات گرانیتی در تجهیزات نیمه هادی است. اچ برای ایجاد الگوهای مورد نظر در سطح قسمت گرانیت استفاده می شود. این الگوها در ساخت و پردازش ویفرهای نیمه هادی استفاده می شود. روش های مختلفی برای انجام اچ ، از جمله اچ پلاسما ، اچ شیمیایی مرطوب و اچ شیمیایی خشک از جمله دیگر وجود دارد. نوع فرآیند اچینگ مورد استفاده به مواد و الگوی مورد نظر بستگی دارد.
تمیز کردن سطح گرانیت نیز بسیار مهم است. فرآیند تمیز کردن برای از بین بردن هرگونه آلاینده از سطح ، مانند ذرات و سایر ناخالصی هایی که ممکن است در فرآیند تولید نیمه هادی تداخل داشته باشد ، ضروری است. تمیز کردن با استفاده از روشهای مختلفی مانند تمیز کردن اولتراسونیک ، تمیز کردن شیمیایی یا تمیز کردن پلاسما از جمله دیگر می تواند انجام شود.
در پایان ، فناوری پردازش قطعات گرانیتی در تجهیزات نیمه هادی نقش مهمی در فرآیند تولید نیمه هادی دارد. استفاده از قطعات گرانیتی به بهبود کیفیت و قابلیت اطمینان محصول نهایی کمک می کند. فناوری پردازش شامل جلا دادن ، اچ کردن و تمیز کردن سطح گرانیت است. روشهای مختلفی برای هر مرحله وجود دارد و نوع فناوری پردازش مورد استفاده به مواد و الگوی مورد نظر بستگی دارد. با استفاده از فناوری پردازش مناسب ، فرآیند تولید نیمه هادی می تواند کارآمدتر ، قابل اطمینان تر و مقرون به صرفه تر شود.
زمان پست: مارس 19-2024