گرانیت نوعی سنگ است که به دلیل سختی، دوام و مقاومت در برابر خوردگی شیمیایی شناخته شده است. به همین دلیل، به انتخابی محبوب برای پایه تجهیزات نیمه‌هادی تبدیل شده است. پایداری حرارتی پایه گرانیت یکی از جذاب‌ترین ویژگی‌های آن است.
پایداری حرارتی به توانایی یک ماده در مقاومت در برابر تغییرات ساختار آن در هنگام قرار گرفتن در معرض دمای بالا اشاره دارد. در زمینه تجهیزات نیمه‌هادی، ضروری است که پایه از پایداری حرارتی بالایی برخوردار باشد زیرا تجهیزات برای مدت طولانی در دماهای بالا کار می‌کنند. مشخص شده است که گرانیت از پایداری حرارتی عالی و ضریب انبساط حرارتی (CTE) پایینی برخوردار است.
ضریب انبساط حرارتی (CTE) یک ماده به میزان تغییر ابعاد آن در هنگام قرار گرفتن در معرض تغییرات دما اشاره دارد. ضریب انبساط حرارتی پایین به این معنی است که ماده در هنگام قرار گرفتن در معرض دماهای مختلف، کمتر دچار تاب برداشتن یا تغییر شکل می‌شود. این امر به ویژه برای پایه تجهیزات نیمه‌هادی که برای اطمینان از نتایج دقیق و قابل اعتماد، نیاز به پایداری و صاف ماندن دارند، بسیار مهم است.
در مقایسه با سایر موادی که معمولاً برای پایه‌های تجهیزات نیمه‌هادی استفاده می‌شوند، مانند آلومینیوم و فولاد ضد زنگ، گرانیت CTE بسیار پایین‌تری دارد. این بدان معناست که می‌تواند دماهای بالاتر را بدون تاب برداشتن یا تغییر شکل تحمل کند. علاوه بر این، رسانایی حرارتی گرانیت به آن اجازه می‌دهد تا گرما را به سرعت دفع کند، که می‌تواند به حفظ دمای پایدار در طول کار کمک کند.
یکی دیگر از مزایای استفاده از گرانیت به عنوان پایه برای تجهیزات نیمه هادی، مقاومت آن در برابر خوردگی شیمیایی است. تجهیزات مورد استفاده در تولید نیمه هادی اغلب شامل استفاده از مواد شیمیایی خشن هستند که می توانند باعث خوردگی و آسیب به پایه شوند. مقاومت گرانیت در برابر خوردگی شیمیایی به این معنی است که می تواند بدون آسیب دیدن، در معرض این مواد شیمیایی قرار گیرد.
در نتیجه، پایداری حرارتی گرانیت یک ویژگی ضروری برای پایه تجهیزات نیمه‌هادی است. ضریب انبساط حرارتی پایین، رسانایی حرارتی بالا و مقاومت در برابر خوردگی شیمیایی، آن را به ماده‌ای ایده‌آل برای این منظور تبدیل می‌کند. با استفاده از گرانیت به عنوان پایه، تولیدکنندگان نیمه‌هادی می‌توانند پایداری و دقت تجهیزات خود را تضمین کنند و در نتیجه محصولات با کیفیت بالا و افزایش راندمان تولید کنند.
زمان ارسال: ۲۵ مارس ۲۰۲۴