گرانیت یک ماده عالی برای پایه های ماشین ، به ویژه برای تجهیزات پردازش ویفر است ، به دلیل خاصیت منحصر به فرد آن مانند سفتی زیاد ، گسترش حرارتی کم و ویژگی های میرایی ارتعاش برتر. در حالی که از فلز به طور سنتی به عنوان ماده ای برای پایه های ماشین استفاده شده است ، گرانیت به دلایل زیر به عنوان یک جایگزین برتر ظاهر شده است:
سفتی زیاد: برای به حداقل رساندن ارتعاشات و حفظ دقت در طول پردازش ویفر ، یک پایه ماشین باید سفت و پایدار باشد. گرانیت نسبت سفتی به وزن بالایی دارد ، که آن را بسیار سفت و پایدار می کند ، در نتیجه ارتعاشات را کاهش می دهد و از دقت ماشینکاری عالی اطمینان می دهد.
گسترش حرارتی کم: تغییرات دما می تواند باعث گسترش یا انقباض فلز شود و در نتیجه تغییرات بعدی در پایه دستگاه ایجاد شود و منجر به عدم دقت در پردازش شود. از طرف دیگر ، گرانیت ضریب گسترش حرارتی کم است ، به این معنی که با تغییرات دما زیاد گسترش نمی یابد یا منقبض نمی شود و از ثبات و دقت در پردازش اطمینان می دهد.
میرایی ارتعاش برتر: لرزش یک مسئله مشترک در ابزارهای دستگاه است و می تواند منجر به خطاهای بعدی ، مشکلات سطح سطح و حتی سایش و پارگی زودرس اجزای دستگاه شود. گرانیت به دلیل خاصیت میرایی لرزش عالی شناخته شده است ، به این معنی که می تواند ارتعاشات را جذب و مرطوب کند و از پردازش صاف و دقیق اطمینان حاصل کند.
مقاومت شیمیایی: پردازش ویفر شامل استفاده از مواد شیمیایی مختلف است و قرار گرفتن در معرض این مواد شیمیایی می تواند باعث خوردگی و تخریب پایه دستگاه با گذشت زمان شود. گرانیت در برابر خوردگی شیمیایی بسیار مقاوم است و آن را به یک انتخاب مواد ایمن و بادوام برای پایه های دستگاه در تجهیزات پردازش ویفر تبدیل می کند.
نگهداری کم: گرانیت به حداقل نگهداری نیاز دارد ، تمیز کردن آن آسان است و مانند فلز خوردگی یا زنگ زدگی نیست. این ترجمه به کاهش هزینه های نگهداری و خرابی کمتر برای تجهیزات است.
به طور کلی ، انتخاب گرانیت بیش از فلز برای یک پایه ماشین برای تجهیزات پردازش ویفر چندین مزیت از جمله سفتی زیاد ، گسترش حرارتی کم ، میرایی لرزش برتر ، مقاومت شیمیایی عالی و نگهداری کم را ارائه می دهد. این مزایا اطمینان حاصل می کند که پایه دستگاه پایدار ، دقیق و بادوام باقی می ماند و در نتیجه پردازش ویفر با کیفیت بالا و افزایش بهره وری ایجاد می شود.
زمان پست: دسامبر -28-2023