♦ آلومینا (آل2O3)
قطعات سرامیکی دقیق تولید شده توسط گروه تولید هوشمند Zhonghui (ZHHIMG) می تواند از مواد اولیه سرامیکی با خلوص بالا ، آلومینا 97 ~ 92 ، 99.5 ٪ آلومینا ،> 99.9 ٪ آلومینا و فشار ایزوستاتیک سرد CIP تهیه شود. پخت و پز درجه حرارت بالا و ماشینکاری دقیق ، دقت بعدی 0.001 میلی متر پوند ، صافی تا RA0.1 ، از دما تا 1600 درجه استفاده می کند. رنگهای مختلف سرامیک با توجه به نیازهای مشتریان می توانند ساخته شوند ، مانند: سیاه ، سفید ، بژ ، قرمز تیره و غیره. قطعات سرامیکی دقیق تولید شده توسط شرکت ما در برابر درجه حرارت بالا ، خوردگی ، سایش و عایق مقاوم است و می تواند برای مدت طولانی در محیط بالا ، خلاء و گازهای زایمان استفاده شود.
به طور گسترده در انواع تجهیزات تولید نیمه هادی مورد استفاده قرار می گیرد: قاب ها (براکت سرامیکی) ، بستر (پایه) ، بازو/ پل (Manipulator) ، اجزای مکانیکی و یاطاقان هوای سرامیکی.
| نام محصول | خلوص بالا 99 لوله / لوله / میله مربع سرامیکی آلومینا | |||||
| فهرست | واحد | 85 ٪ AL2O3 | 95 ٪ AL2O3 | 99 ٪ AL2O3 | 99.5 ٪ AL2O3 | |
| تراکم | g/cm3 | 3.3 | 3.65 | 3.8 | 3.9 | |
| جذب آب | % | <0.1 | <0.1 | 0 | 0 | |
| دمای سنگی | ℃ | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
| سختی | ماه | 7 | 9 | 9 | 9 | |
| قدرت خمش (20 ℃)) | MPA | 200 | 300 | 340 | 360 | |
| قدرت فشاری | kgf/cm2 | 10000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
| دمای طولانی مدت کار | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
| حداکثر دمای کار | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
| مقاومت در برابر حجم | 20 | Ω cm3 | > 1013 | > 1013 | > 1013 | > 1013 |
| 100 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
| 300 | > 109 | > 1010 | > 1012 | > 1012 | ||
استفاده از سرامیک های آلومینا با خلوص بالا:
1. اعمال شده برای تجهیزات نیمه هادی: خلاء سرامیکی ، دیسک برش ، دیسک تمیز کننده ، چاک سرامیکی.
2. قطعات انتقال ویفر: چاک های دست زدن به ویفر ، دیسک های برش ویفر ، دیسک های تمیز کننده ویفر ، فنجان های مکش بازرسی نوری ویفر.
3. LED / LCD پانل صفحه نمایش صنایع: نازل سرامیکی ، دیسک سنگ زنی سرامیک ، پین آسانسور ، راه آهن پین.
4. ارتباط نوری ، صنعت خورشیدی: لوله های سرامیکی ، میله های سرامیکی ، صفحه نمایش صفحه نمایش صفحه نمایش سرامیکی.
5. قطعات مقاوم در برابر گرما و برقی: یاتاقان های سرامیکی.
در حال حاضر ، سرامیک های اکسید آلومینیوم را می توان به خلوص بالا و سرامیک های مشترک تقسیم کرد. سریال سرامیک اکسید آلومینیوم با خلوص بالا به مواد سرامیکی حاوی بیش از 99.9 ٪ Al₂o₃ اشاره دارد. به دلیل دمای پخت و پز تا 1650 - 1990 درجه سانتیگراد و طول موج انتقال آن از 1 ~ 6μm ، معمولاً به جای پلاتین قابل حمل به شیشه ذوب شده پردازش می شود: که می تواند به دلیل انتقال نور و مقاومت در برابر خوردگی آن در برابر فلز قلیایی استفاده شود. در صنعت الکترونیک می توان از آن به عنوان ماده عایق با فرکانس بالا برای بسترهای IC استفاده کرد. با توجه به محتویات مختلف اکسید آلومینیوم ، سری سرامیک اکسید آلومینیوم رایج را می توان به 99 سرامیک ، 95 سرامیک ، 90 سرامیک و 85 سرامیک تقسیم کرد. بعضی اوقات ، سرامیک ها با 80 ٪ یا 75 ٪ اکسید آلومینیوم نیز به عنوان سری سرامیک اکسید آلومینیوم رایج طبقه بندی می شوند. در میان آنها ، 99 ماده سرامیکی اکسید آلومینیوم برای تولید لوله های کوره با دمای بالا ، ضد آتش و مواد خاص مقاوم در برابر سایش ، مانند یاتاقان های سرامیکی ، مهر و موم های سرامیکی و صفحات دریچه استفاده می شود. 95 سرامیک آلومینیوم عمدتاً به عنوان قسمت مقاوم در برابر سایش مقاوم در برابر خوردگی استفاده می شود. 85 سرامیک اغلب در برخی از خواص مخلوط می شود و در نتیجه عملکرد الکتریکی و قدرت مکانیکی را بهبود می بخشد. می تواند از مولیبدن ، نیوبیوم ، تانتالوم و سایر مهر و موم های فلزی استفاده کند و برخی از آنها به عنوان دستگاه های خلاء برقی استفاده می شوند.
| مورد با کیفیت (مقدار نماینده) | نام محصول | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22s | AES-23 | AL-31-03 | |
| ترکیب شیمیایی محصول پخت و پز آسان سدیم کم | هوس | % | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
| روده بر شدن از خنده | % | 0.1 | 0.2 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | |
| fe₂0₃ | % | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | |
| سیو | % | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.02 | 0.04 | 0.04 | |
| نابجا | % | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.02 | 0.04 | 0.03 | |
| Mgo* | % | - | 0.11 | 0.05 | 0.05 | - | - | - | |
| al₂0₃ | % | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | |
| قطر ذرات متوسط (MT-3300 ، روش تجزیه و تحلیل لیزر) | μM | 0.44 | 0.43 | 0.39 | 0.47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
| اندازه کریستال α | μM | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 ~ 1.0 | 0.3 ~ 4 | 0.3 ~ 4 | |
| ایجاد چگالی ** | g/cm³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2.35 | 2.57 | 2.56 | |
| چگالی پخت ** | g/cm³ | 3.88 | 3.93 | 3.94 | 3.93 | 3.88 | 3.77 | 3.22 | |
| کاهش نرخ خط پخت ** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 | |
* MGO در محاسبه خلوص Al₂o₃ گنجانده نشده است.
* بدون پودر مقیاس پذیر 29.4 مگاپیکاسن (300 کیلوگرم در سانتی متر مربع) ، دمای پخت 1600 درجه سانتیگراد است.
AES-11 / 11C / 11F: اضافه کردن 0.05 ~ 0.1 ٪ MgO ، استنباط بودن بسیار عالی است ، بنابراین با خلوص بیش از 99 ٪ در سرامیک های اکسید آلومینیوم کاربرد دارد.
AES-22S: با چگالی شکل بالا و سرعت کوچک شدن خط پخت و پز مشخص می شود ، برای ریخته گری فرم و سایر محصولات در مقیاس بزرگ با دقت بعدی مورد نیاز کاربرد دارد.
AES-23 / AES-31-03: چگالی تشکیل بالاتری ، تیکسوتروپی و ویسکوزیته پایین تر از AES-22 دارد. اولی برای سرامیک استفاده می شود در حالی که دومی به عنوان کاهش دهنده آب برای مواد ضدعفونی کننده استفاده می شود و محبوبیت خود را به دست می آورد.
ویژگی های کاربید سیلیکون (SIC)
| خصوصیات عمومی | خلوص اجزای اصلی (درصد وزنی) | 97 | |
| رنگ | سیاه | ||
| چگالی (g/cm³) | 3.1 | ||
| جذب آب (٪) | 0 | ||
| خصوصیات مکانیکی | قدرت خمشی (MPA) | 400 | |
| مدول جوان (GPA) | 400 | ||
| سختی ویکرز (GPA) | 20 | ||
| خصوصیات حرارتی | حداکثر دمای کار (درجه سانتیگراد) | 1600 | |
| ضریب انبساط حرارتی | RT 500 درجه سانتیگراد | 3.9 | |
| (1/° C x 10-6) | RT 800 درجه سانتیگراد | 4.3 | |
| هدایت حرارتی (w/m x k) | 130 110 | ||
| مقاومت در برابر شوک حرارتی ΔT (درجه سانتیگراد) | 300 | ||
| خصوصیات الکتریکی | مقاومت در برابر حجم | 25 درجه سانتیگراد | 3 10 106 |
| 300 درجه سانتیگراد | - | ||
| 500 درجه سانتیگراد | - | ||
| 800 درجه سانتیگراد | - | ||
| ثابت دی الکتریک | 10 گیگاهرتز | - | |
| از دست دادن دی الکتریک (x 10-4) | - | ||
| Q Factor (x 104) | - | ||
| ولتاژ خرابی دی الکتریک (kV/mm) | - | ||
♦ سرامیک نیترید سیلیکون
| مادی | واحد | سیز |
| روش پخت و پز | - | فشار بنزین سینتر شد |
| تراکم | g/cm³ | 3.22 |
| رنگ | - | خاکستری تیره |
| میزان جذب آب | % | 0 |
| مدول | معدل | 290 |
| سختی ویکرز | معدل | 18 - 20 |
| قدرت فشاری | MPA | 2200 |
| قدرت خمش | MPA | 650 |
| هدایت حرارتی | w/mk | 25 |
| مقاومت در برابر شوک حرارتی | δ (درجه سانتیگراد) | 450 - 650 |
| حداکثر دمای عملیاتی | درجه سانتیگراد | 1200 |
| مقاومت در برابر حجم | ω · سانتی متر | > 10 ^ 14 |
| ثابت دی الکتریک | - | 8.2 |
| قدرت دی الکتریک | kV/mm | 16 |