پایه گرانیتی فوق دقیق برای بازرسی و اندازه گیری ویفر

۱. علم مواد برتر: گرانیت مشکی ZHHIMG®

برخلاف گرانیت استاندارد یا بدتر از آن، مرمر درجه پایین که توسط تولیدکنندگان بی‌وجدان استفاده می‌شود، پایه‌های ZHHIMG منحصراً از گرانیت مشکی اختصاصی ما ZHHIMG® ساخته می‌شوند.

● چگالی استثنایی: ماده ما دارای چگالی چشمگیر ≈ ۳۱۰۰ کیلوگرم بر متر مکعب است که از بسیاری از گرانیت‌های سیاه مرسوم در اروپا و آمریکا برتر است.

● پایداری حرارتی: چگالی بالا و جذب آب حداقل، پایداری ابعادی عالی را تضمین می‌کند و به طور چشمگیری تأثیر رانش حرارتی را در طول چرخه‌های بازرسی بحرانی کاهش می‌دهد.

● میرایی ارتعاش: ساختار معدنی طبیعی، میرایی داخلی فوق‌العاده‌ای را فراهم می‌کند که برای جداسازی اپتیک‌ها و حسگرهای حساس از ارتعاش خارجی ضروری است.

۲. قابلیت تولید و مونتاژ بی‌نظیر

تعهد ما به دقت در باور اصلی ما خلاصه می‌شود: «کسب و کار دقیق نمی‌تواند بیش از حد سخت باشد.»

● استادکاری: پایه‌های ما توسط تکنسین‌های استاد، که بسیاری از آنها بیش از 30 سال تجربه دارند، با دست تراش داده می‌شوند و می‌توانند به صافی و توازی سطح تا سطح نانومتر دست یابند - دقتی که توسط تداخل‌سنج‌های لیزری Renishaw و ترازهای الکترونیکی WYLER تأیید شده است.

● محیط کنترل‌شده: ماشینکاری و مونتاژ نهایی در اتاق تمیز ۱۰۰۰۰ متر مربعی ما که از نظر دما و رطوبت کنترل می‌شود (و شرایط سخت ساخت نیمه‌هادی را شبیه‌سازی می‌کند) انجام می‌شود. این مرکز دارای یک فونداسیون بتنی به ضخامت ۱۰۰۰ میلی‌متر و ترانشه‌های ضد ارتعاش به عمق ۲۰۰۰ میلی‌متر است که یک محیط اندازه‌گیری واقعاً پایدار را تضمین می‌کند.

۳. طراحی دقیق یکپارچه (مطابق تصویر)

پایه معمولاً به صورت یک مجموعه پیچیده ارائه می‌شود که اغلب شامل موارد زیر است:

● ساختارهای L شکل/گانتری: برای پشتیبانی از حرکت عمودی (محور Z) هدهای تصویربرداری طراحی شده‌اند و متعامد بودن و دقت هندسی را تضمین می‌کنند.

● شیارها و اینسرت‌های دقیق: سطوح از پیش ماشینکاری شده با اینسرت‌های فولادی رزوه‌دار و سوراخ‌های رولپلاک دقیق برای نصب یاتاقان‌های هوایی، موتورهای خطی (میز XY)، سیستم‌های بینایی و ریل‌های راهنما (THK، HIWIN، Rexroth).

● سفارشی‌سازی: ما در ماشینکاری در مقیاس بزرگ تخصص داریم و قادر به ارائه پایه‌های گرانیتی یکپارچه تا طول 20 متر و وزن 100 تن، دقیقاً متناسب با پوشش تجهیزات شما هستیم.