سیستمهای یاتاقان هوای گرانیتی به طور گسترده در موارد زیر استفاده میشوند:فوق العاده دقیقپلتفرمهای حرکتی برای تولید نیمههادی، ترازبندی نوری و مترولوژی در مقیاس نانومتری.
این سیستمها با استفاده از یک لایه نازک هوای تحت فشار، تماس مکانیکی را از بین میبرند و به حرکت اصطکاکی نزدیک به صفر دست مییابند.
اصل یاتاقان هوایی
یاتاقانهای هوایی با وارد کردن هوای فشرده بین دو سطح و تشکیل یک لایه نازک هوا به ضخامت ۲ تا ۲۰ میکرومتر عمل میکنند.
این موارد را از بین میبرد:
- اصطکاک مکانیکی
- بپوشید
- رفتار چسبندگی-لغزشی
این سیستم بر دینامیک لایه سیال و جریان آرام پایدار متکی است.
نقش گرانیت
گرانیت موارد زیر را ارائه میدهد:
- پایداری سازه
- سرکوب رانش حرارتی
- میرایی ارتعاش
این به عنوان پایه مرجع مکانیکی برای سیستم حرکتی عمل میکند.
اجزای سیستم
- پایه گرانیتی
- پدهای یاتاقان هوایی
- سیستم تامین هوا
- انکودرهای دقیق
- سیستم کنترل حرکت
ویژگیهای عملکرد
عملکرد معمول شامل موارد زیر است:
- دقت موقعیتیابی زیر میکرون
- صافی بالا در طول سفر طولانی
- لقی مکانیکی صفر
منابع خطای کلیدی شامل ناپایداری فشار هوا، رانش حرارتی و خطای انکودر است.
کاربردها
- بازرسی ویفر نیمه هادی
- سیستمهای لیتوگرافی
- پلتفرمهای همترازی نوری
- ماشینهای مترولوژی پیشرفته
سوالات متداول
آیا یاتاقانهای هوایی فرسوده میشوند؟
عدم تماس مکانیکی، سایش را از بین میبرد.
چرا از گرانیت استفاده کنیم؟
برای پایداری و میرایی ارتعاش.
چه چیزی دقت را محدود میکند؟
پایداری هوا و اثرات حرارتی.
آیا میتوانند بارهای سنگین را حمل کنند؟
بله، بسته به طراحی.
زمان ارسال: 3 ژوئیه 2026