چگونه ظاهر پایه دستگاه گرانیت آسیب دیده برای پردازش ویفر را تعمیر کنیم و دقت را دوباره کالیبره کنیم؟

پایه‌های دستگاه گرانیت یکی از اجزای ضروری در دستگاه‌های پردازش ویفر هستند. آن‌ها بستری پایدار و دقیق را برای عملکرد روان و دقیق دستگاه‌ها فراهم می‌کنند. با این حال، به دلیل استفاده مکرر، می‌توانند آسیب دیده و فرسوده شوند و بر ظاهر و دقت آن‌ها تأثیر بگذارند. در این مقاله، ما در مورد چگونگی تعمیر ظاهر یک پایه دستگاه گرانیتی آسیب دیده و کالیبراسیون مجدد دقت آن بحث خواهیم کرد.

تعمیر ظاهر پایه دستگاه گرانیتی آسیب دیده:

مرحله 1: سطح را تمیز کنید- قبل از شروع تعمیر پایه دستگاه گرانیت، مطمئن شوید که سطح آن تمیز و عاری از هرگونه زباله یا کثیفی است. آن را با یک پارچه مرطوب پاک کنید و بگذارید خشک شود.

مرحله ۲: پر کردن هرگونه لب‌پریدگی یا ترک - اگر لب‌پریدگی یا ترک روی سطح وجود دارد، آنها را با اپوکسی یا خمیر تعمیر گرانیت پر کنید. حتماً از رنگی استفاده کنید که با رنگ گرانیت مطابقت داشته باشد و آن را به طور یکنواخت بمالید.

مرحله ۳: سطح را سمباده بزنید- پس از خشک شدن اپوکسی یا خمیر، سطح پایه دستگاه گرانیتی را با استفاده از کاغذ سنباده ریز سمباده بزنید. این کار به صاف شدن سطح و از بین رفتن هرگونه باقیمانده اضافی کمک می‌کند.

مرحله ۴: سطح را صیقل دهید- از یک ترکیب صیقل‌دهنده گرانیت برای صیقل دادن سطح پایه دستگاه گرانیت استفاده کنید. این ترکیب را روی یک پارچه نرم بمالید و سطح را با حرکت دایره‌ای صیقل دهید. این کار را تا زمانی که سطح صاف و براق شود، تکرار کنید.

کالیبراسیون مجدد دقت پایه دستگاه گرانیتی آسیب دیده:

مرحله 1: اندازه گیری دقت - قبل از شروع کالیبراسیون مجدد دقت، دقت فعلی پایه دستگاه گرانیت را با استفاده از تداخل سنج لیزری یا هر ابزار اندازه گیری دیگر اندازه گیری کنید.

مرحله ۲: بررسی تراز بودن - مطمئن شوید که پایه دستگاه گرانیت تراز است. از تراز برای بررسی تراز بودن استفاده کنید و در صورت لزوم پایه‌های تراز را تنظیم کنید.

مرحله ۳: بررسی صافی - هرگونه تاب یا خمیدگی در پایه دستگاه گرانیت را بررسی کنید. از یک ترازسنج دقیق برای اندازه‌گیری صافی و شناسایی نواحی که نیاز به تنظیم دارند، استفاده کنید.

مرحله ۴: خراشیدن - پس از شناسایی نواحی که نیاز به تنظیم دارند، از یک ابزار خراشیدن دستی برای خراشیدن سطح پایه دستگاه گرانیت استفاده کنید. این کار به از بین بردن هرگونه نقطه برجسته روی سطح و اطمینان از صاف و یکدست شدن سطح کمک می‌کند.

مرحله 5: اندازه‌گیری مجدد دقت - پس از اتمام تراشیدن، دقت پایه دستگاه گرانیت را با استفاده از تداخل‌سنج لیزری یا ابزار اندازه‌گیری دوباره اندازه‌گیری کنید. در صورت لزوم، فرآیند تراشیدن را تا زمانی که دقت به مشخصات مورد نیاز برسد، تکرار کنید.

در پایان، پایه‌های دستگاه گرانیت بخشی جدایی‌ناپذیر از دستگاه‌های پردازش ویفر هستند و برای اطمینان از ظاهر و دقت آنها نیاز به نگهداری منظم دارند. اگر پایه دستگاه گرانیت شما آسیب دیده است، این مراحل را برای ترمیم ظاهر آن و کالیبراسیون مجدد دقت آن دنبال کنید. با این مراحل ساده، می‌توانید پایه دستگاه گرانیت خود را به حالت اولیه خود برگردانید و عملکرد بهینه را تضمین کنید.