نحوه استفاده و نگهداری از پایه دستگاه گرانیت برای محصولات پردازش ویفر

پایه های دستگاه گرانیتی معمولاً به دلیل ثبات برتر ، خواص مرطوب کننده لرزش و پایداری حرارتی در پردازش ویفر نیمه هادی استفاده می شوند. برای استفاده بیشتر از این مواد با کیفیت بالا و اطمینان از طول عمر آن ، نکات زیر برای استفاده و نگهداری مناسب باید دنبال شود.

در مرحله اول ، مهم است که پایه دستگاه گرانیت را تمیز نگه دارید و از هرگونه مواد ساینده یا خورنده در تماس با آن جلوگیری کنید. از یک پارچه نرم و مرطوب با مواد شوینده خفیف یا تمیز استفاده کنید تا مرتباً سطح آن را پاک کنید. از استفاده از حلالها ، اسیدها یا مواد تمیز کننده قوی خودداری کنید زیرا می توانند به سطح سنگ آسیب برسانند.

ثانیا ، اطمینان حاصل کنید که پایه دستگاه به درستی نصب و تراز شده است تا از هرگونه حرکت یا لرزش غیر ضروری جلوگیری شود. این کار را می توان با بررسی تراز پایه با سطح دقیق و تنظیم پای سطح در صورت لزوم انجام داد.

ثالثاً ، توجه به شرایط دما که پایه دستگاه در معرض آن قرار دارد ، مهم است. گرانیت ضریب انبساط حرارتی کم دارد و در برابر شوک حرارتی مقاوم است ، اما هنوز هم می تواند تحت تأثیر تغییرات شدید دما باشد. از قرار دادن پایه ماشین در مناطقی که در معرض نور مستقیم خورشید یا نوسانات دما قرار دارد ، خودداری کنید.

چهارم ، از قرار دادن بارهای سنگین یا نیروهای ضربه در پایه دستگاه گرانیت خودداری کنید. اگرچه این ماده بسیار قوی است ، اما هنوز هم می توان با نیروی بیش از حد آسیب دید. اگر نیاز به بارهای سنگین روی دستگاه قرار داده شده است ، برای توزیع وزن به طور مساوی از یک لایه محافظ استفاده کنید و از بارگذاری هر نقطه خودداری کنید.

در آخر ، اطمینان حاصل کنید که هرگونه تعمیر یا اصلاحاتی در پایه دستگاه توسط یک تکنسین واجد شرایط که در کار با گرانیت تجربه شده است ، انجام می شود. تعمیر یا اصلاح پایه به طور نادرست می تواند یکپارچگی ساختاری و عملکرد آن را به خطر بیاندازد.

به طور خلاصه ، برای استفاده و نگهداری مؤثر از پایه دستگاه گرانیت برای محصولات پردازش ویفر ، مهم است که آن را تمیز ، نصب و نصب صحیح نگه دارید ، از قرار گرفتن در معرض شرایط دمای شدید جلوگیری کنید ، از قرار دادن بارهای سنگین یا نیروهای ضربه ای بر روی آن خودداری کنید و اطمینان حاصل کنید که هرگونه تعمیرات یا اصلاحات به درستی انجام می شود. با مراقبت و توجه مناسب ، یک پایه دستگاه گرانیت می تواند یک مؤلفه ماندگار و قابل اعتماد از سیستم های پردازش ویفر باشد.