پایه‌های دستگاه گرانیتی به دلیل پایداری برتر، خواص میرایی ارتعاش و پایداری حرارتی معمولاً در پردازش ویفر نیمه‌هادی مورد استفاده قرار می‌گیرند. برای بهره‌برداری هرچه بیشتر از این ماده با کیفیت بالا و اطمینان از طول عمر آن، نکات زیر باید برای استفاده و نگهداری صحیح رعایت شود.
اول از همه، تمیز نگه داشتن پایه دستگاه گرانیتی و جلوگیری از تماس هرگونه مواد ساینده یا خورنده با آن بسیار مهم است. از یک پارچه نرم و مرطوب با مواد شوینده یا پاک کننده ملایم برای پاک کردن منظم سطح استفاده کنید. از استفاده از حلال‌ها، اسیدها یا مواد تمیز کننده قوی خودداری کنید زیرا می‌توانند به سطح سنگ آسیب برسانند.
ثانیاً، اطمینان حاصل کنید که پایه دستگاه به درستی نصب و تراز شده است تا از هرگونه حرکت یا لرزش غیرضروری جلوگیری شود. این کار را می‌توان با بررسی تراز بودن پایه با یک تراز دقیق و در صورت لزوم تنظیم پایه‌های تراز انجام داد.
سوم، توجه به شرایط دمایی که پایه دستگاه در معرض آن قرار دارد، بسیار مهم است. گرانیت ضریب انبساط حرارتی پایینی دارد و در برابر شوک حرارتی مقاوم است، اما همچنان می‌تواند تحت تأثیر تغییرات شدید دما قرار گیرد. از قرار دادن پایه دستگاه در مناطقی که در معرض نور مستقیم خورشید یا نوسانات دما قرار دارد، خودداری کنید.
چهارم، از قرار دادن بارهای سنگین یا نیروهای ضربه‌ای روی پایه دستگاه گرانیتی خودداری کنید. اگرچه این ماده بسیار محکم است، اما همچنان می‌تواند در اثر نیروی بیش از حد آسیب ببیند. اگر نیاز به قرار دادن بارهای سنگین روی دستگاه است، از یک لایه محافظ برای توزیع یکنواخت وزن استفاده کنید و از هرگونه بارگذاری نقطه‌ای خودداری کنید.
در نهایت، اطمینان حاصل کنید که هرگونه تعمیر یا اصلاحی که در پایه دستگاه انجام می‌شود توسط یک تکنسین واجد شرایط و با تجربه در کار با گرانیت انجام شود. تعمیر یا اصلاح نادرست پایه می‌تواند به یکپارچگی ساختاری و عملکرد آن آسیب برساند.
به طور خلاصه، برای استفاده و نگهداری مؤثر از پایه دستگاه گرانیت برای محصولات فرآوری ویفر، تمیز نگه داشتن، نصب و تراز کردن صحیح آن، جلوگیری از قرار گرفتن در معرض شرایط دمایی شدید، جلوگیری از قرار دادن بارهای سنگین یا نیروهای ضربه‌ای بر روی آن و اطمینان از انجام صحیح هرگونه تعمیر یا اصلاح، بسیار مهم است. با مراقبت و توجه مناسب، پایه دستگاه گرانیت می‌تواند یک جزء بادوام و قابل اعتماد در سیستم‌های فرآوری ویفر باشد.
زمان ارسال: نوامبر-07-2023