پایه های دستگاه گرانیت به دلیل پایداری برتر، خواص میرایی ارتعاش و پایداری حرارتی معمولاً در پردازش ویفر نیمه هادی استفاده می شود.برای استفاده حداکثری از این ماده باکیفیت و اطمینان از طول عمر آن، نکات زیر برای استفاده و نگهداری مناسب باید رعایت شود.
در مرحله اول، تمیز نگه داشتن پایه دستگاه گرانیت و جلوگیری از تماس هرگونه مواد ساینده یا خورنده با آن مهم است.از یک پارچه نرم و مرطوب با مواد شوینده یا پاک کننده ملایم استفاده کنید تا به طور مرتب سطح را پاک کنید.از استفاده از حلال ها، اسیدها یا مواد پاک کننده قوی خودداری کنید زیرا می توانند به سطح سنگ آسیب برسانند.
در مرحله دوم، اطمینان حاصل کنید که پایه دستگاه به درستی نصب و تراز شده است تا از هرگونه حرکت یا لرزش غیر ضروری جلوگیری شود.این را می توان با بررسی تراز پایه با یک سطح دقیق و تنظیم پایه های تراز در صورت لزوم انجام داد.
ثالثاً، مهم است که به شرایط دمایی که پایه دستگاه در معرض آن قرار می گیرد، توجه داشته باشید.گرانیت ضریب انبساط حرارتی پایینی دارد و در برابر شوک حرارتی مقاوم است، اما همچنان می تواند تحت تاثیر تغییرات شدید دما قرار گیرد.از قرار دادن پایه دستگاه در مناطقی که در معرض نور مستقیم خورشید یا نوسانات دما است خودداری کنید.
چهارم، از قرار دادن بارهای سنگین یا نیروهای ضربه ای بر روی پایه دستگاه گرانیت خودداری کنید.اگرچه این ماده بسیار قوی است، اما هنوز هم می تواند با نیروی بیش از حد آسیب ببیند.در صورت نیاز به قرار دادن بارهای سنگین روی دستگاه، از یک لایه محافظ برای توزیع یکنواخت وزن و جلوگیری از هرگونه بارگذاری نقطه ای استفاده کنید.
در نهایت، اطمینان حاصل کنید که هر گونه تعمیرات یا اصلاحات انجام شده در پایه دستگاه توسط یک تکنسین مجرب با تجربه در کار با گرانیت انجام شود.تعمیر یا اصلاح نادرست پایه می تواند یکپارچگی ساختاری و عملکرد آن را به خطر بیندازد.
به طور خلاصه، برای استفاده مؤثر و نگهداری از پایه دستگاه گرانیت برای محصولات فرآوری ویفر، تمیز نگه داشتن آن، نصب صحیح و تراز، اجتناب از قرار گرفتن در معرض شرایط دمایی شدید، اجتناب از قرار دادن بارهای سنگین یا نیروهای ضربه ای بر روی آن، و اطمینان حاصل کنید که هر گونه تعمیر یا اصلاح به درستی انجام شده است.با مراقبت و توجه مناسب، پایه دستگاه گرانیت می تواند یک جزء بادوام و قابل اعتماد در سیستم های پردازش ویفر باشد.
زمان ارسال: نوامبر-07-2023